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  • 台积电将关停四台EUV光刻机?内幕来了

  • 2022-09-08 09:21:52 阅读量:993

导读:9月6日摩根大通最新报告指出,台积电面临联发科、AMD、高通、英伟达等四大先进制程客户砍单,计划关闭四台极紫外光(EUV)光刻机以减少产出,月产能将锐减1.5万片。


  

图: 最耗电的EUV光源部分


对此,市面上有两种传闻,一是台积电需为削减产能而停机,二是EUV耗电巨大产能利用率不高时干脆关掉省电费(运营成本)



芯片大师曾报道日耗电百万度!“高攀不起”的EUV光刻机,台积电目前拥有全球最多的EUV光刻机,总数超过80台,均分布在中国台湾。



实际上,EUV最耗电的部分在光源,以前的193nm波长DUV光源也耗电,但升级后的EUV光源波长仅13.5nm,短波长的一次反射大约带来30%的损耗,实际照射到晶圆上的光通量只有2%,因此需要超大功率的激光器来弥补。


  

图:台积电配套的发电厂


但即便以单台EUV每天1MW的满载功耗计算,不计入其他设备的情况下开机一天的耗电量达192万度,且正常情况下保持365*24模式运行,理论上年耗电量超过7亿度,电费也仅为4.4亿元人民币。



2021年,台积电全年耗电量为170亿度,总营收为568.32亿美元。对比EUV采购单价、fab建造和人力成本,电费可以说是最低廉的部分之一,几台EUV省下的电费也实在不值一提!



很简单的道理:你会因为省电而关掉印钞机吗?



  

图:台积电园区


据某设备厂内部人士指出,台积电将旧的四台EUV光刻机关机,是为了将设备升级到3600D规格,升级后的单机生产量能(through put)可提升18%左右。



专业人士称,像光刻机这类高精密度的半导体机台,就算市场景气不好、客户大幅砍订单,晶圆厂也很少会做出关机的动作。因为关机就跟停电一样,所有制程参数都要在重开机后重新再作调整,且无法预期可维持最佳良率。无计划的一次关机损失可能远远大于可能节省的成本。


台积电表示,不评论市场传闻。针对机台设备皆有年度规划,并依循计划在不影响正常营运的前提下进行例行维护与升级



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