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  • ASML CEO:对中国大陆断供DUV后果严重

  • 2022-07-22 17:40:55 阅读量:835

导读:近日荷兰ASML CEO警告称,如果停止向中国大陆供应半导体设备,全球半导体产业链将面临中断。


  

图:Peter Wennink


芯片大师曾报道锁死7nm?美正施压ASML对大陆禁售DUV光刻机,但基于商业利益和外交考量,荷兰政府并未同意,同时ASML明确持反对态度


对此,近期ASML首席执行官Peter Wennink明确表示:“我认为需要意识到中国大陆是半导体产业重要参与者,不论成熟制程还是主流制程,中国大陆都是全球市场非常重要的供应商,所以必须小心正在做的事。”


同时还略带批评称:“政界人士不时提出限制出口中国大陆DUV的计划,不过世界不能忽视的事实是,中国大陆拥有满足全球市场需求的芯片制造能力。”


此前,Wennink不止一次表达过,如果ASML断供更多设备,那么中国大陆迟早会研制出自己的光刻机,尽管不一定先进,但ASML将永远失去中国市场


  

图:EUV光刻内部结构


中国大陆是ASML第三大市场,仅次于中国台湾和韩国,约占其2021年销售额的16%,即21亿欧元(约合145亿元人民币)。


自2019年以来,荷兰政府与美国达成协议,未授予ASML向中国大陆芯片制造商出售最先进的EUV光刻机的许可。不过,ASML可以继续向大陆客户销售DUV光刻机,而全球大多数芯片都是用DUV光刻机制造的。


在中美贸易战日趋激烈背景下,美国仍有施压ASML要求不要出售DUV等其他设备给中国大陆的讨论。荷兰外长也证实,美国和荷兰正在讨论此事


  

图:司的高NA镜头研发生产基地


值得一提的是,在讨论是否对中国大陆禁售上一代DUV的同时,本季度ASML公司下一代高NA孔径EUV光刻机的制造已经取得重大突破。


ASML表示已经收到了来自供应商的物镜、光源及工作台,这也是光刻机的三大核心部件,直接决定光刻机的工艺精度。


根据ASML的消息,相比目前NA孔径只有0.33的光刻机,下一代的EUV光刻机NA孔径提升到0.55,有望进一步提高芯片工艺,是制造2nm及以下工艺的关键设备。


高NA孔径的EUV光刻机价格也会大幅上涨,相比目前单台10亿元的价格,下一代光刻机价格要暴涨到4亿美元,人民币26亿元以上,原型机预计2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出货。


据报道称,首批4台高NA光刻系统英特尔拿下。


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