导读：近日荷兰ASML CEO警告称，如果停止向中国大陆供应半导体设备，全球半导体产业链将面临中断。

图：Peter Wennink

芯片大师曾报道锁死7nm？美正施压ASML对大陆禁售DUV光刻机，但基于商业利益和外交考量，荷兰政府并未同意，同时ASML明确持反对态度。

对此，近期ASML首席执行官Peter Wennink明确表示：“我认为需要意识到中国大陆是半导体产业重要参与者，不论成熟制程还是主流制程，中国大陆都是全球市场非常重要的供应商，所以必须小心正在做的事。”

同时还略带批评称：“政界人士不时提出限制出口中国大陆DUV的计划，不过世界不能忽视的事实是，中国大陆拥有满足全球市场需求的芯片制造能力。”

此前，Wennink不止一次表达过，如果ASML断供更多设备，那么中国大陆迟早会研制出自己的光刻机，尽管不一定先进，但ASML将永远失去中国市场。

图：EUV光刻内部结构

中国大陆是ASML第三大市场，仅次于中国台湾和韩国，约占其2021年销售额的16%，即21亿欧元（约合145亿元人民币）。

自2019年以来，荷兰政府与美国达成协议，未授予ASML向中国大陆芯片制造商出售最先进的EUV光刻机的许可。不过，ASML可以继续向大陆客户销售DUV光刻机，而全球大多数芯片都是用DUV光刻机制造的。

在中美贸易战日趋激烈背景下，美国仍有施压ASML要求不要出售DUV等其他设备给中国大陆的讨论。荷兰外长也证实，美国和荷兰正在讨论此事。

图：蔡司的高NA镜头研发生产基地

值得一提的是，在讨论是否对中国大陆禁售上一代DUV的同时，本季度ASML公司下一代高NA孔径EUV光刻机的制造已经取得重大突破。

ASML表示已经收到了来自供应商的物镜、光源及工作台，这也是光刻机的三大核心部件，直接决定光刻机的工艺精度。

根据ASML的消息，相比目前NA孔径只有0.33的光刻机，下一代的EUV光刻机NA孔径提升到0.55，有望进一步提高芯片工艺，是制造2nm及以下工艺的关键设备。

高NA孔径的EUV光刻机价格也会大幅上涨，相比目前单台10亿元的价格，下一代光刻机价格要暴涨到4亿美元，人民币26亿元以上，原型机预计2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出货。

据报道称，首批4台高NA光刻系统被英特尔拿下。