锁死7nm？美正施压ASML对大陆禁售DUV光刻机

导读：最新消息，彭博社援引知情人士透露，美国正向荷兰、日本施压，要求光刻机制造商ASML和尼康停止向中国大陆出售技术较成熟的DUV光刻设备。

来源：彭博社

继阻止中芯国际和SK海力士无锡厂引入EUV光刻机后，美国政府对大陆半导体的遏制已经延伸到非先进工艺的7nm节点。

知情人士表示，美国官员正在游说荷兰当局禁止ASML出售成熟制程所需的深紫外光（DUV）浸没式光刻系统。这类设备所用于的芯片制程技术比先进技术落后一代以上，但仍是制造汽车、手机、电脑乃至机器人所需的成熟制程芯片最常用的设备。

由于ASML垄断了全球高端光刻市场，浸没式DUV全球市占率达93%，EUV全球市占率达100%。消息拖累ASML的美国存托凭证（ADR）价格一度重挫超8%，为近一年最大盘中跌幅。

图：可用于7nm工艺的尼康浸没式DUV

此外，美国官员也试图施压技术落后ASML的DUV供应商日本尼康，要求停止向大陆芯片制造商发货。

日本尼康和佳能是ASＭL外全球最大的两家DUV制造商，芯片大师曾报道ASML CEO：某集团被迫买洗衣机来拆芯片，过去两年内其用于200mm晶圆的二手设备已经涨价数倍，甚至已有20年历史的老旧机台在二手和租赁市场都供不应求。

浸没式光刻技术也称氟化氩浸没（简称ArFi），是EUV的上一代技术，ASML、尼康的高端ArF设备最高均能实现7nm工艺，也是当初推动ASML一跃成为全球光刻霸主的关键技术，如今成为打压大陆半导体业的新工具。

公开资料显示，ASML在2021年出货81台浸没式DUV设备，而尼康则为4台。

图：美国商务部官员访问ASML

知情人士说，美国商务部副部长格雷夫斯（Don Graves）于5月底出访荷兰时，提出了这一要求。但暂时来看，荷兰政府尚未同意额外限制ASML向中国大陆晶圆制造商出口DUV设备，同时荷兰首相吕特6月曾表示他“反对重新考量与中国的贸易关系”。

ASML CEO温彼得今年稍早时候也曾表示，ASML反对禁止把DUV设备卖给中国大陆，因为这是成熟技术。ASML对中国大陆（包含国内外企业的所有晶圆厂）发货的销售额，占2021年总营收的14.7%。

图：全球主要芯片制造设备市场

同时根据SEMI数据，尽管无法引进先进工艺设备，中国大陆依然连续两年成为全球最大的晶圆制造设备市场，累计花费高达483亿美元（约合人民币3200亿人民币）。

尽管其中有断供压力下晶圆厂囤积库存和产能紧缺导致扩产的双重催化，但这份数据展示的强大市场潜力背后，ASML等先进工艺设备无法进入依然使其遭受了不少的损失。

ASML发言人表示：“讨论并不是新的。尚未作出任何决定，我们不希望对传言加以臆测或评论。”尼康则未予置评。