导读:近日,知名CIS厂商格科微宣布搬入ASML的一套ArF光刻机。
据格科微表示,目前,格科微洁净室已按计划分阶段顺利验收,相关厂务系统配备进展顺利,共有61台设备已经搬入。未来,外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入。
格科微表示,ArF光刻机的成功引入,是格科微“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”建设的关键节点。
图:ArF光刻机
依托自有工厂即格科半导体的先进制程,格科微将进一步加快先进CIS工艺和高阶专利像素的研发速度,并在自有工厂实现批量生产验证,从而极大缩短高端产品从研发到大量供应市场的周期。
据了解,该项目总投资约155亿元,建设一座12寸、月产6万片的晶圆厂,建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线,预计年底达到量产状态。
UT116A/测试夹 | 149 | |
UT890C/万用表 | 99 | |
DL241025/螺丝批套装 | 18.22 | |
DP-366D/吸锡器/吸锡线 | 17.21 | |
BK881/热风拆焊台 | 368.85 | |
STM8L051F3P6TR/单片机(MCU/MPU/SOC) | 2.2 | |
207112/防静电刷子 | 5.58 | |
DP-366P/吸锡器/吸锡线 | 27.61 | |
PM-905F/斜嘴钳 | 37.35 | |
CA-IS3720LS/数字隔离器 | 0.7648 |
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