价格翻倍！ASML：下一代EUV单台约22亿元

导读：当地时间1月19日，全球光刻龙头ASML发布了2021年Q4及全年财报，除业绩暴涨33%外，还带来了下一代EUV光刻机等重磅消息。

图：下一代0.55NA EUV光刻机

ASML表示，目前已收到5台下一代光刻机订单，包括0.55NA的两个型号：用于工艺研发的EXE:5000和用于量产的EXE:5200。和目前最先进的0.33NA平台相比，下一代技术允许将芯片缩小1.7倍、同时密度增加2.9倍，全面支持3nm以下乃至埃米级工艺节点。

其中，英特尔称已签下一笔EXE:5200的订单。ASML CFO在财报会议上表示，EXE:5200系统的成本将显著超过3.4亿美元（目前EUV最高单价约为1.5亿美元），也就是说单台售价高达22亿元人民币，翻了一倍多。

那么，这个价格有多“离谱”呢？

图：各工艺节点晶圆厂的资金投入

据Digitimes 估计，单座半导体晶圆厂的建造成本从14nm工艺开始进入100亿美元时代，而5nm节点则需要160亿美元，约合人民币1019亿元。

而上千亿的投入建成的还是50K月产能的，也就是每月生产5万片晶圆，如果追求更高产能，10万片晶圆的大型工厂还要再翻倍到300多亿美元，烧钱速度非常恐怖。

以EXE:5200光刻机为例，一座大型晶圆厂通常需要9-18台这样的机器，意味着光刻机的采购成本保底都需要200亿元，加上光刻机安装维护（通常约为机器价格的30%）、海量的其他工艺设备、人员薪资和原材料采购等费用，让一座尖端晶圆厂运转起来至少需要先投入1000亿毫不夸张。

图：2021年全球销售超百亿美元半导体企业

那么全球有哪些企业有能力承担呢？

根据IC Insights的数据，2021年全球预计营收进入百亿美元大关的企业有17家，其中排除高通等6家IC设计企业，再去掉不涉及先进制程的IDM如TI、英飞凌等5家，还要去掉短时间内不会跟进的3家存储企业SK 海力士、美光和铠侠，剩下的正是EXE:5200的首批潜在客户——三星、英特尔和台积电。

再看看大陆两家顶级晶圆厂的情况，中芯国际和华虹半导体2021年前三季度净利润分别约为73亿元和8亿元，这还是在同比增长均超过100%的火爆行情下实现的。

来源：工商时报

由于工艺的研发和设备密切相关，业界有着“一代设备，一代工艺”的说法，而晶圆制造进入先进节点后马太效应极为明显，强则吃肉又喝汤，弱则退守成熟工艺求生，意味着没有靠7nm工艺赚钱的晶圆厂根本无法投入5nm及以下节点的研究和产线。

且先不论能否采购到下一代光刻机，这个价格已经“离谱“到基本劝退了ASML除台积电、三星和英特尔以外的其他晶圆厂，而先进工艺对于三大厂更像一场关起门的肉搏。