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  • ASML最新表态:从荷兰向中国出口DUV光刻机无需美国许可!

  • 2020-10-15 18:00 102

导读:10月15日,ASML总裁兼CEO Peter Wennink 在三季度财报发布会上明确表示,阿斯麦从荷兰向中国客户提供的DUV光刻机,无需美国出口许可证。


  

图:阿斯麦光刻机


“根据当前法规,ASML(阿斯麦)无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统;对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户,ASML需获得许可证。”光刻机龙头ASML 总裁兼CEO Peter Wennink 在最新季度财报说明会上对中芯国际等中国客户的出货情况做了解释。


虽然没有提到最先进的极紫外光(EUV)出口情况如何,但这一消息也足够振奋人心。


国内企业面临着制程落后的难题,以中芯国际为例,早在2018年就购买的一台EUV光刻机,至今毫无音讯。如果DUV光刻机能顺利买入,至少有希望让制程更进一步。


另外,ASML在财报中披露了最新的TWINSCAN NXE:3600D的规格,其生产效率将提升18%,在30mJ/cm2的曝光速度下每小时可处理160片晶圆。


这台全新的极紫外光刻机,将在明年年中开始出货

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