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  • 雪中送炭?东京应化已在韩国生产EUV光刻胶!

  • 2020-07-09 18:01:15 阅读量:626 来源:芯片大师

导读:据韩媒Business Korea报道,全球光刻胶巨头日本TOK(东京应化)公司已开始在韩国生产 EUV 光刻胶,有望绕过日本政府对韩出口管制。


  

来源:东京应化(TOK)


韩国贸易工业和能源部7月1日表示,TOK 在致当地一家媒体的信中说,其韩国子公司正在制造 EUV 光刻胶,并可以及时提供该产品。


自2019年7月起,EUV 光刻胶是日本政府禁止向韩国出口的物品之一。该公司似乎选择在韩国生产 EUV 光刻胶,以绕过日本政府的出口管制。


  

图:TOK 的海外工厂


据报道,三星电子正在对位于仁川的 TOK 工厂生产的 EUV 用光刻胶进行测试,将在其非内存生产线中使用光刻胶进行 EUV 工艺制造。报道认为,三星对日本公司在韩国生产的 EUV 光刻胶表现出兴趣。


2019年遭遇禁运后,三星曾向另一家光刻胶巨头 JSR 的比利时子公司寻求产品供应。外界普遍认为,韩国半导体业在短期内很难解决高端半导体材料的国产化难题


JSR(东京合成橡胶)、TOK(东京应化)和Shin-Etsu(信越化学)三家企业是全球主要的半导体化学材料供应商,包含三家在内的日本企业占据全球光刻胶市场份额超过70%,在高端的 ArF 和 EUV 光刻胶领域市场占有率则超过90%


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