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  • 单台9.38亿元!ASML全新EUV光刻机交付

  • 2021-07-22 18:07 128
导读: 7月21日,全球唯一的EUV光刻机供应商——荷兰ASML(阿斯麦)公布了2021年第二季度财报


  

图: Q1-Q2光刻机技术及用途构成


财报显示,当季ASML净销售额40亿欧元,毛利率50.9%,净收入10亿欧元。


同时,本季度净预订额达到83亿欧元创下历史最高值,其中EUV光刻机就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元。


其中,光刻系统的营收达29.49亿欧元,较一季度略有下降,但从技术构成来看,二季度EUV产品份额已经大幅增长,占营收的45%


  

图:当前出货主力 NXE:3400C



ASML在财报中还披露,第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机已经交付给客户,相比之前的NXE:3400C生产力提高了15%-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约30%


据悉,该系统整机报价达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)不过,ASML未透露接收客户是哪一家。


  

图:第一代光刻机 NXE:3400B



目前,ASML 旗下EUV光刻机还是第一代产品,EUV光源波长13.5nm左右,物镜NA数值孔径0.33,并发展了一系列型号。


最早量产出厂的是NXE:3400B,产能有限,晶圆产能只有125WPH(片晶圆/小时),目前的出货主力是NXE:3400C,产能提升到135WPH,而最新的NXE:3600D产能进一步提升到160WPH


第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列,物镜NA提升到0.55,进一步提高光刻精度,但原计划2023年问世,现在推迟到2025-2026年,而价格预计将突破3亿美元


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