财报显示,当季ASML净销售额40亿欧元,毛利率50.9%,净收入10亿欧元。
同时,本季度净预订额达到83亿欧元创下历史最高值,其中EUV光刻机就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元。
其中,光刻系统的营收达29.49亿欧元,较一季度略有下降,但从技术构成来看,二季度EUV产品份额已经大幅增长,占营收的45%。
图:当前出货主力 NXE:3400C
ASML在财报中还披露,第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机已经交付给客户,相比之前的NXE:3400C生产力提高了15%-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约30%。
据悉,该系统整机报价达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)。不过,ASML未透露接收客户是哪一家。
图:第一代光刻机 NXE:3400B
目前,ASML 旗下EUV光刻机还是第一代产品,EUV光源波长13.5nm左右,物镜NA数值孔径0.33,并发展了一系列型号。
最早量产出厂的是NXE:3400B,产能有限,晶圆产能只有125WPH(片晶圆/小时),目前的出货主力是NXE:3400C,产能提升到135WPH,而最新的NXE:3600D产能进一步提升到160WPH。
第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列,物镜NA提升到0.55,进一步提高光刻精度,但原计划2023年问世,现在推迟到2025-2026年,而价格预计将突破3亿美元。
CA-IS3740HW/数字隔离器 | 2.85 | |
CA-IS3742HW/数字隔离器 | 3.12 | |
CS48505S/RS-485/RS-422芯片 | 0.500355 | |
CA-IS3721HS/数字隔离器 | 0.8974 | |
CA-IS3720HS/数字隔离器 | 0.9234 | |
XL1509-5.0E1/DC-DC电源芯片 | 0.7999 | |
BSMD1812-200-30V/自恢复保险丝 | 0.38069 | |
FS55X106K101EGG/贴片电容(MLCC) | 1.28 | |
CA45-A016K106T/钽电容 | 0.224 | |
LKS665B/仿真器/烧录器 | 429.55 |
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