单台9.38亿元！ASML全新EUV光刻机交付

导读： 7月21日，全球唯一的EUV光刻机供应商——荷兰ASML(阿斯麦)公布了2021年第二季度财报。

  

图： Q1-Q2光刻机技术及用途构成

财报显示，当季ASML净销售额40亿欧元，毛利率50.9％，净收入10亿欧元。

同时，本季度净预订额达到83亿欧元创下历史最高值，其中EUV光刻机就有49亿欧元，而总的积压订单金额已达175亿欧元。

其中，光刻系统的营收达29.49亿欧元，较一季度略有下降，但从技术构成来看，二季度EUV产品份额已经大幅增长，占营收的45%。

  

图：当前出货主力 NXE:3400C

ASML在财报中还披露，第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机已经交付给客户，相比之前的NXE:3400C生产力提高了15%-20％，覆盖率（套刻精度）提高了约30％。

据悉，该系统整机报价达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)。不过，ASML未透露接收客户是哪一家。

  

图：第一代光刻机 NXE:3400B

目前，ASML 旗下EUV光刻机还是第一代产品，EUV光源波长13.5nm左右，物镜NA数值孔径0.33，并发展了一系列型号。

最早量产出厂的是NXE:3400B，产能有限，晶圆产能只有125WPH（片晶圆/小时），目前的出货主力是NXE:3400C，产能提升到135WPH，而最新的NXE:3600D产能进一步提升到160WPH。

第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列，物镜NA提升到0.55，进一步提高光刻精度，但原计划2023年问世，现在推迟到2025-2026年，而价格预计将突破3亿美元。